SF6分解物分析儀氣體雖然具有很好的化學穩定性和優異的電氣性能，但是由於設計、材質和工藝等原因使設備內部存在絕緣缺陷和導電杆連接不良，引起SF6氣體和固體絕緣材料分解，乃至釀成事故，影響了電力生產的正常運行。